硅烷作为含硅薄膜和涂层的应用已从传统的微电子产业扩展到钢铁、机械、化工和光学等各个领域。含硅涂层可使普通钢的高温耐氧化能力提高到10万倍以上,也可使其它金属的高温化学稳定性大大改善，使内燃机叶片的耐蚀性明显增强，使各种材料和零件之间的粘结强度大幅度提高，使汽车发动机零件的寿命延长，也可改变玻璃的反射和透射性能，从而得到显著的节能和装饰效果。在浮法玻璃生产过程中用硅烷在玻璃表面涂敷一层反光层其粘附力极强在长期阳光照射下不褪色, 透光率只有普通玻璃的1 /3; 用氮化硅涂敷的大面积多晶硅电池( BSNSC) 已达到15. 7%的高效率。用硅烷气相沉积技术制造各种含硅薄膜在高技术中的应用还在与日俱增。如何安全用气仍然是整套硅烷系统的首要难题。
安全技术措施：
硅烷站的电气控制室应设置在独立的房间内，与硅烷气瓶库等有爆炸危险的房间相邻时，相邻的隔墙不得有门窗、洞口、隔离的耐火极限不得低于3h。硅烷站变压器室不得设在硅烷站内，也不得与硅烷站房毗邻设置。硅烷系统的设备应进行防静电接地。
硅烷排风管道的气体侦测器的报警设定值，应等于或小于硅烷爆炸浓度下限值的25%，并与硅烷气源的自动切断阀连锁；硅烷站的环境气体侦测器的报警设定值应等于或小于5ppm，环境气体侦测器报警时，硅烷控制系统不应切断硅烷输送管路。
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